Project information
Development of in-situ monitoring technologies for the control of advanced surface and materials processing systems
- Project Identification
- OK 138
- Project Period
- 6/1995 - 12/1998
- Investor / Pogramme / Project type
-
Ministry of Education, Youth and Sports of the CR
- EUPRO
- MU Faculty or unit
- Faculty of Science
Vývoj monitorovacích technik pro pokročilé vakuové aparatury. Elipsometrie, rastrovací tunelová mikroskopie a hmotová spektroskopie. Procesní elipsometry s více vlnovými délkami světla. Vývoj programového vybavení pro procesní elipsometrii.