Spektroskopická analyza depozičních, růstových a leptacích procesů v reálném čase. Použití neuronových sítí pro zpracování elipsometrických dat. Numerický rozbor citlivosti měření, referenční sekvenční výpočty. Pořízení databáze optických konstant intrinsického a legovaného křemíku pro in-situ diagnostiku.