Informace o projektu
Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
- Kód projektu
- MSM 143100003
- Období řešení
- 1/1999 - 12/2004
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- Výzkumné záměry
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
Výsledky
Kinetika plazmochemických rakcí a procesů depozice tenkých vrstev tvrdých a supertvrdých materiálů. Absorpční a emisní spektra plazmatu obloukových výbojů.
Publikace
Počet publikací: 402
1999
-
Diagnostics and Applications of High Frequency Plasma Pencil
Proceedings of 14th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 1999
-
Diagnostics and Effects of Discharge Generated by Plasma Pencil Device
Proceedings of 12th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 1999
-
Diagnostics of RF discharges at atmospheric pressure
14th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 1999
-
Experimental study of atmospheric pressure glow discharge in oxygen and air
12th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 1999
-
HF plasma pencil- new source for plasma surface processing
Surface and coating technology, rok: 1999, ročník: 1999, vydání: 116-119
-
High temperature arc burning in flowing argon
12th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 1999
-
Characterisation of DLC Films Prepared by PECVD
Proceedings of 12th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 1999
-
Characterisation of Silicon Oxide Thin Films Deposited by Plasma Enhanced CVD from Octamethylcyclotetrasiloxane/Oxygen Feeds
Thin Solid Films, rok: 1999, ročník: 338, vydání: 1
-
Characterization of Composite Carbon Nitride Films Prepared by the Inductively Coupled RF Plasma
Proceedings of 14th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 1999
-
Influence of impurities on nitrogen afterglow
Proceedings of International Conference on Phenomena in Ionized Gases, rok: 1999