Characterization of Composite Carbon Nitride Films Prepared by the Inductively Coupled RF Plasma
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 1999 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceedings of 14th International Symposium on Plasma Chemistry |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Popis | Characterization of Composite Carbon Nitride Films Prepared by the Inductively Coupled RF Plasma |
Související projekty: |