Influence of silicon, oxygen and nitrogen admixtures on the properies of plasma deposited amorphous diamond-like carbon coating

• Název česky: Vliv přísad křemíku, kyslíku a dusíku na vlastnosti amorfních diamantu-podobných uhlíkových vrstev
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; ZAJÍČKOVÁ Lenka; DVOŘÁK Pavel; FRANTA Daniel; PEŘINA Vratislav; JANČA Jan
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: International Conference ELMECO-5, Book of Abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: DLC; protective coatings; PECVD
• Popis: modifikace diamantupodobných vrstev pomocí křemíku, kyslíku a dusíku. optimalizace mechanických vlastností

Související projekty

• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek