PROPERTIES OF MODIFIED AMORPHOUS CARBON THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD
| Název česky | Vlastnosti modifikovaných amorfních uhlíkových tenkých vrstev připravených metodou PECVD |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2012 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Chem. listy |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://www.chemicke-listy.cz/common/content-issue_s5-volume_106-year_2012.html |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | RF-PECVD; amorphous carbon; protective coatings; DLC; |
| Popis | Cílem této práce bylo připravit sadu DLC vrstev z různých směsí prekurzorových plynů (metan, vodík, deuterium, dusíku a / nebo HMDSO) pomocí RFPECVD na substráty, jako jsou krystalický křemík, sklo a ocel. Připravené vrstvy byly charakterizovány pomocí několika diagnostických nástrojů. Vlastnosti čistých a modifikovaných amorfních uhlíkových vrstev s různými přísadami (N, Si, O, D) byly srovnávány. Mechanické zkoušky byly provedeny především pomocí hinstrumentované indentační techniky. Svou pozornost jsme zaměřili na následující vlastnosti: tvrdost, modul pružnosti, lomová houževnatost, přilnavost vrstvy k substrátu. Navíc jsme studovali vliv vnitřního pnutí na vtiskovou odezvu systému vrstva-substrát. Tribologické vlastnosti vrstev byly také zkoumány. Povrchová volná energie vrstev byla určena měřením kontaktního úhlu. |
| Související projekty: |
|