Informace o projektu
Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
- Kód projektu
- GA202/98/0988
- Období řešení
- 1/1998 - 1/2000
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Pavel Pokorný
- Odpovědná osoba prof. RNDr. Miloslav Ohlídal, CSc.
Cílem je formulace nových teoretických přístupů umožňujících v rámci perturbační a difrakční teorie vyjádřit vztahy pro optické charakteristiky drsných systémů v koherentně i nekoherentně rozptýleném světle. Teoretické výsledky budou srovnány s výsledky měření provedenými pro vybrané vrstevnaté systémy. Dalším cílem je vývoj analytických metod dovolujících určovat optické a statistické parametry drsných vrstevnatých systémů. Dále bude provedeno srovnání nové metody perturbační teorie a teoretických přístupů používaných pro popis interakce rtg záření s drsnými vrstevnatými systémy. Budou zkoumány možnosti využití tohoto optického přístupu v rtg oblasti. Kombinace optických a rtg metod bude použita pro úplnou analýzu různých vrstevnatých systémů.
Publikace
Počet publikací: 34
2004
-
Complete Characterization of Rough Polymorphous Silicon Films by Atomic Force Microscopy and the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry
Thin Solid Films, rok: 2004, ročník: 455-456, vydání: 1
-
Optical Properties of Diamond-Like Carbon Films Containing SiOx Studied by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry
Thin Solid Films, rok: 2004, ročník: 455-456, vydání: 1
2001
-
Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy
Surface and Interface Analysis, rok: 2001, ročník: 32, vydání: 1
-
Determination of Thicknesses and Spectral Dependences of Refractive Indices of Non-Absorbing and Weakly Absorbing Thin Films Using the Wavelengths Related to Extrema in Spectral Reflectances
Vacuum, rok: 2001, ročník: 61, vydání: 1
-
Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly
Československý časopis pro fyziku, rok: 2001, ročník: 51, vydání: 1
-
Optical Characterization of Diamond-like Carbon Films
Vacuum, rok: 2001, ročník: 61, vydání: 2-4
-
Optical characterization of DLC:Si films prepared by PECVD
Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 2001
-
Optical characterization of nonabsorbing and weakly absorbing thin films with the wavelengths related to extrema in spectral reflectances
Applied Optics, rok: 2001, ročník: 40, vydání: 31
-
Vliv diskrétní Fourierovy transformace na zpracování AFM dat
Československý časopis pro fyziku, rok: 2001, ročník: 51, vydání: 1
-
XPS and Ellipsometric Study of DLC/Silicon Interface
Vacuum, rok: 2001, ročník: 61, vydání: 2-4