Informace o projektu
Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra
- Kód projektu
- FV40328
- Období řešení
- 5/2019 - 12/2022
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR
- TRIO
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- Mgr. Martin Čermák, Ph.D.
- Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
- Ing. Pavel Franta
- Mgr. Jiří Vohánka, Ph.D.
- Spolupracující organizace
-
Vysoké učení technické v Brně
Český metrologický institut
Meopta - optika, s.r.o.
- Odpovědná osoba David Škoda, Ph.D.
Hlavní cíle předkládaného projektu jsou:
1. Úplná optická charakterizace jednoduchých (single) vrstev používaných ve vrstevnatých systémech, tj. vrstev Al2O3, MgF2, HfO2 a SiO2. Charakterizace potenciálně slibných vrstev Sc2O3 bude také provedena.
2. Vývoj antireflexních pokrytí na skleněných podložkách při kolmém dopadu světla s požadovanými hodnotami propustnosti ve vlnových délkách 213 nm a 248 nm. Výroba vzorků na základě návrhů a optická charakterizace těchto vzorků. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola dosažení optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti a propustnosti.
3. Vývoj zrcadel s vysokou odrazivostí na skleněných podložkách při úhlu dopadu 45 stupňů s požadovanými hodnotami průměrné odrazivosti pro vlnové délky 248 nm a 213 nm. Výroba vzorků na základě návrhů spolu s optickou charakterizací. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti.
4. Vývoj děličů světelných svazků na skleněných podložkách při úhlu dopadu 45 stupňů s požadovanými hodnotami pro p-složku propustnosti nebo pro průměrnou propustnost ve vlnové délce 248 nm a s požadovanými hodnotami pro s-složku odrazivosti pro vlnové délky 630 nm – 670 nm. Výroba vzorků na základě návrhů spolu s optickou charakterizací. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola dosažení optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti a propustnosti.
5. Měření vnitřního napětí a parametrů charakterizujících mechanické vlastnosti vrstev a vrstevnatých systémů pro posouzení jejich životnosti spolu s kontrolou plošné uniformity jejich optických parametrů.
Publikace
Počet publikací: 10
2023
-
Optical Characterization of Gadolinium Fluoride Films Using Universal Dispersion Model
Coatings, rok: 2023, ročník: 13, vydání: 2, DOI
-
Optical method for determining the power spectral density function of randomly rough surfaces by simultaneous processing of spectroscopic reflectometry, variable-angle spectroscopic ellipsometry and angle-resolved scattering data
Optik, rok: 2023, ročník: 280, vydání: June, DOI
2022
-
Optical characterization of inhomogeneous thin films with randomly rough boundaries
Optics Express, rok: 2022, ročník: 30, vydání: 2, DOI
-
Optical characterization of inhomogeneous thin films with randomly rough boundaries exhibiting wide intervals of spatial frequencies
Optics Express, rok: 2022, ročník: 30, vydání: 21, DOI
-
Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm.
Rok: 2022
2021
-
Characterization of randomly rough surfaces using angle-resolved scattering of light and atomic force microscopy
Journal of Optics, rok: 2021, ročník: 23, vydání: 10, DOI
-
Vysoceodrazná vrstva na substrátu ve specifikaci R >= 98,5 % @ 248 nm a R >= 98 % @ 213 nm pro úhel dopadu 45.
Rok: 2021
2020
-
Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm.
Rok: 2020
-
Estimation of roughness measurement bias originating from background subtraction
MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY, rok: 2020, ročník: 31, vydání: 9, DOI
-
How levelling and scan line corrections ruin roughness measurement and how to prevent it
Nature Scientific Reports, rok: 2020, ročník: 10, vydání: 1, DOI