Informace o projektu
Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
- Kód projektu
- MSM 143100003
- Období řešení
- 1/1999 - 12/2004
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- Výzkumné záměry
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
Výsledky
Kinetika plazmochemických rakcí a procesů depozice tenkých vrstev tvrdých a supertvrdých materiálů. Absorpční a emisní spektra plazmatu obloukových výbojů.
Publikace
Počet publikací: 402
2000
-
Influence of Discharge Parameters on Composition of Films Deposited by PECVD from Hexamethyldisiloxane/Oxygen Mixtures
Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers, XVth Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, rok: 2000
-
Low Pressure Plasma Treatment of Polycarbonate
Electrophysical and Thermophysical Processes in Low-Pressure Plasma, rok: 2000
-
MODIFICATIONS OF THE OPTICAL PARAMETERS OF THE SILICON THIN FILMS DUE TO THE LIGHT SCATTERING
Electronic Devices and Systems Y2K, rok: 2000
-
Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films
Proceedings of 20th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases, rok: 2000
-
Optical Diagnostics of Special Types of RF and DC Discharges Burning at Atmospheric Pressure
Czechoslovak Journal of Physics, rok: 2000, ročník: 50, vydání: S3
-
Origin of the metastability of phosphorus or boron doped a-Si:H films
Electronic Devices and Systems Y2K - Proceedings, rok: 2000
-
Plasma enhanced chemical vapor deposition of silicon incorporated diamond-like carbon films
Abstracts of Invited Lecturers and Contributed Papers ,XVth Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, rok: 2000
-
Plasma Pencil - New Small Scale Source for Atmospheric Surface Modification
Czechoslovak Journal of Physics, rok: 2000, ročník: 50, vydání: S3
-
Plasma Surface Treatment of Textile Fibres for Improvement of Car Tires
Czechoslovak Journal of Physics, rok: 2000, ročník: 50, vydání: S3
-
Plasmachemical Deposition of Thin Films
4th Czech-Russian Seminar on Electrophysical and Thermophysical Processes in Low-Temperature Plasma, rok: 2000