Informace o projektu
Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
- Kód projektu
- MSM 143100003
- Období řešení
- 1/1999 - 12/2004
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- Výzkumné záměry
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
Výsledky
Kinetika plazmochemických rakcí a procesů depozice tenkých vrstev tvrdých a supertvrdých materiálů. Absorpční a emisní spektra plazmatu obloukových výbojů.
Publikace
Počet publikací: 402
2001
-
Atmospheric pressure glow discharge in neon
J. Phys. D: Appl. Phys., rok: 2001, ročník: 34, vydání: 11
-
Atomic nitrogen concentration in afterglow measured by EPR and NO titration methods
Proceedings of XXVth ICPIG, rok: 2001
-
Calibration graphs for steels by IR laser ablation inductively coupled plasma atomic emission spectrometry
Fresenius Journal of Analytical Chemistry, rok: 2001, ročník: 370, vydání: 4
-
Calibration graphs for Ti, Ta and Nb in sintered tungsten carbide by infrared laser ablation inductively coupled plasma atomic emission spectrometry
Fresenius Journal of Analytical Chemistry, rok: 2001, ročník: 371, vydání: 7
-
Deposition of DLC:Si(O) Films in Low Pressure Discharges
Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 2001
-
Deposition of hard carbon films and its diagnostics
Juniormat'01, rok: 2001
-
Determination of Mechanical Properties of Thin Films by the Indentation Techniques
New Trends in Physics, rok: 2001
-
Determination of rate constant of N+HMDSZ gas phase chemical reaction by means of EPR
SAPP 13th Symposium Proceedings, rok: 2001
-
Diagnostics and Application of High Frequency Plasma Pencil
Plasma Chemistry and Plasma Processing, rok: 2001, ročník: 21 (2001), vydání: 4
-
Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process
Rok: 2001, druh: Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)